美进口Physik Instrumente  PI纳米定位器

PI 的多轴压电挠性平台允许在多达 6 个轴上以亚纳米精度进行定位和扫描，包括倾斜、倾斜和偏航运动。版本范围从紧凑的立方体设计到大孔径和低剖面。

XYZ 扫描仪是定位技术的型产品。应用包括样品调整、技术、光学计量、光纤定位和光子学，以及原子力显微镜。

所有压电纳米定位系统都经过工厂校准并随测量日志起交付。

应用域

• 光纤定位和对准

• 扫描显微镜

• 2光子聚合

• 纳米技术和纳米制造

• 光子学/集成光学

• 显微操作

• 样品定位

具有电容式传感器的亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，无需接触。它们保证的运动线性度、长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。

自动配置和快速组件更换

机械和控制器可以根据需要组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械装置 D-sub 连接器的 ID 芯片中。每次打开控制器时，数字控制器的自动校准功能都会使用此数据。

适用于复杂的真空应用

压电系统中使用的所有组件都适合在真空中使用。操作时不需要润滑剂或油脂。不含聚合物的压电系统允许特别低的脱气率。

PICMA ®压电执行器具有的使用寿命

获得的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受因漏电流增加而致的潮湿和故障的影响。PICMA® 执行器的使用寿命比传统的聚合物绝缘执行器长十倍。已证明 1000 亿次循环无次故障。

零间隙挠性轨实现高向精度

挠性轨免维护、免摩擦和免磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且它们对冲击和振动不敏感。它们 90% 真空兼容，可在很宽的温度范围内工作。

并联运动实现高动态多轴操作

在平行运动多轴系统中，所有执行器都作用在个公共平台上。小的惯性和所有轴的相同设计允许快速、动态且精确的运动。

美进口Physik Instrumente  PI纳米定位器

序号品牌中文简称主要产品产地备注

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